Dornbirner Mikrotechniktage 2006 - Technologie, Verfahren und Anwendungen der Mikrotechnik

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Author: Auer, T.

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		Preview	Author(s)	Title	Type	Issue Date
	1		Partel, S. ; Zoppel, S. ; Hudek, Peter ; Auer, T. ; Zehetner, Johann ; Smetana, Walter ; Homolka, Heinz ; Balluch, Bruno	Entwicklung zusammenhängender Fertigungsschritte für optische, elektrische und fluidische Mikrosysteme	Konferenzbeitrag Inproceedings	2006