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Full name
Familienname, Vorname
Pippan, Reinhard
Main Affiliation
Organisationszuordnung
E300 - Fakultät für Maschinenwesen und Betriebswissenschaften
Contributing Publications
Mitbeteiligte Publikationen
(All)
All
Theses
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Access Type
1
Open Access
Author
1
Bigl, Stephan Paul
Subject
1
Silicondioxid/Wafer Curvature/thermomechanical/temperature behaviour/crack formation/amorphous/thin film/semiconductors/stresses
1
Siliziumdioxid/Substratkrümmungsmethode/thermomechanische/Temperaturverhalten/Rissbildung/amorph/Dünnschicht/Halbeiterindustrie/Spannungen
Date issued
1
2000 - 2024
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Author(s)
Title
Type
Issue Date
1
Bigl, Stephan Paul
The influence of Hydrogen and Nitrogen impurities on the annealing behaviour of undoped silicon glass
Thesis
Hochschulschrift
2013