Name Card

Full name Familienname, Vorname
Kirchauer, Heinrich
 

Own Publications Eigene Publikationen

Results 1-3 of 3 (Search time: 0.001 seconds).

PreviewAuthor(s)TitleTypeIssue Date
1Kirchauer, Heinrich ; Selberherr, Siegfried A Three-Dimensional Photolithography Simulator Including Rigorous Nonplanar Exposure Simulation for Off-Axis IlluminationKonferenzbeitrag Inproceedings1998
2Grasser, Tibor ; Hössinger, Andreas ; Kirchauer, Heinrich ; Knaipp, Martin ; Martins, Rui ; Plasun, Richard ; Rottinger, Martin ; Schrom, Gerhard ; Selberherr, Siegfried VISTA Status Report December 1997Bericht Report1997
3Kirchauer, Heinrich ; Plasun, Richard ; Radi, Mustafa ; Selberherr, Siegfried ; Strasser, Rudolf VISTA Status Report December 1996Bericht Report1996