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Spronck, Jo W.
 

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1Saathof, Rudolf ; Wansink, Martijn V. ; Hoijkamp, Evert ; Spronck, Jo W. ; Munnig Schmidt, Robert Deformation control of a thermal active mirrorArtikel Article 2016
2Saathof, Rudolf ; Schutten, Gerrit Jan M. ; Spronck, Jo W. ; Munnig Schmidt, Robert H. Actuation profiles to form Zernike shapes with a thermal active mirrorArtikel Article 2015
3Saathof, Rudolf ; Schutten, Gerrit Jan M. ; Spronck, Jo W. ; Munnig Schmidt, Robert H. Design and characterisation of an active mirror for EUV-lithographyArtikel Article 2015
4Saathof, Rudolf ; Spronck, Jo W. ; Munnig Schmidt, Robert Counteracting Thermal Issues in EUV-Lithography using an Adaptive Optics SystemKonferenzbeitrag Inproceedings2014
5Fraxedas, Jordi ; Staufer, Urs ; Munnig Schmidt, Robert ; Spronck, Jo W. ; Trinidad, Enrique Rull ; Deng, Ruijun ; Schitter, Georg ; Thier, Markus ; Messineo, Saverio ; Ito, Shingo ; Hainisch, Reinhard ; Saathof, Rudolf ; Perez-Murano, Francesc ; Verdaguer, Albert ; Blümel, Alexander ; List-Kratochvil, Emil J. W. ; Koops, Richard ; van Veghel, Marijn ; Sum, Robert ; Lieb, Andreas ; Schott, Walter ; Dontsov, Denys ; Sulzbach, Thomas ; Engl, Wolfgang ; Penzkofer, Christian ; Colominas, Carles ; Fluch, Karl ; Garcia-Granada, Andrés-Amador ; Puigoriol-Forcada, Josep Maria Automated inline Metrology for Nanoscale Production - aim4npPräsentation Presentation2014
6Koops, Richard ; Staufer, Urs ; Munnig Schmidt, Robert ; Spronck, Jo W. ; Trinidad, Enrique Rull ; Deng, Ruijun ; Schitter, Georg ; Thier, Markus ; Messineo, Saverio ; Ito, Shingo ; Hainisch, Reinhard ; Saathof, Rudolf ; Fraxedas, Jordi ; Perez-Murano, Francesc ; Verdaguer, Albert ; Blümel, Alexander ; List-Kratochvil, Emil J. W. ; van Veghel, Marijn ; Sum, Robert ; Lieb, Andreas ; Schott, Walter ; Dontsov, Denys ; Sulzbach, Thomas ; Engl, Wolfgang ; Penzkofer, Christian ; Colominas, Carles ; Fluch, Karl ; Garcia-Granada, Andrés-Amador ; Puigoriol-Forcada, Josep Maria Automated in-line Metrology for Nanoscale Production - aim4npPräsentation Presentation2014
7Saathof, Rudolf ; Spronck, Jo W. ; Schmidt, Rob Munnig Design of an AM for EUV lithographyArtikel Article2014
8Deng, Ruijun ; Saathof, Rudolf ; Spronck, Jo W. ; Hol, Sven ; Munnig Schmidt, Robert Integrated 6-DoF Lorentz Actuator with Gravity Compensator for Precision PositioningKonferenzbeitrag Inproceedings2014