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Grille, Thomas
 

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1Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich FT-IR analysis of high temperature annealing effects in a-SiC:H thin filmsKonferenzbeitrag Inproceedings2017
2Klein, Alexander ; Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich Einfluss der Schichtdicke auf das mechanische Verhalten und die Bruchstabilität von a-SiC:H MembranenKonferenzbeitrag Inproceedings2016
3Frischmuth, Tobias ; Klein, Alexander ; Schneider, Michael ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich Fracture analysis of a-SiC:H membranes after thermal annealingKonferenzbeitrag Inproceedings 2016
4Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Maurer, Daniel ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich Inductively-coupled plasma-enhanced chemical vapour deposition ofhydrogenated amorphous silicon carbide thin films for MEMSArtikel Article 2016
5Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Bogdanović Radović, Iva ; Siketić, Zdravko ; Maurer, Daniel ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich Lowtemperature deposition of a-SiC:H thin films applying a dual plasma source processArtikel Article 2016
6Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Maurer, Daniel ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich High temperature annealing effects on the chemical and mechanical properties of inductively-coupled plasma-enhanced chemical vapor deposited a-SiC:H thin filmsArtikel Article 2016
7Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Maurer, Daniel ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich Impact of thermal treatment on the residual stress and Young's modulus of thin a-SiC:H membranes applying bulge testingKonferenzbeitrag Inproceedings2015
8Frischmuth, Tobias ; Maurer, Daniel ; Schneider, Michael ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich IMPACT OF SUBSTRATE TEMPERATURE AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA POWER ON a-SiC:H THIN FILM PROPERTIESKonferenzbeitrag Inproceedings2015
9Frischmuth, Tobias ; Dergez, David ; Stübegger, Marko ; Hedenig, Ursula ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich Influence of High Temperature Annealings on a-SiC:H Thin Film PropertiesKonferenzbeitrag Inproceedings2014
10Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich Effect of Reactive Gas Flow Ratio on IC-PECVD Deposited a-SiC:H Thin FilmsKonferenzbeitrag Inproceedings 2014
11Lavchiev, Ventsislav ; Kristament, Christian ; Brandstetter, Markus ; Ramer, Georg ; Lendl, Bernhard ; Hedenig, Ursula ; Grille, Thomas ; Irsigler, Peter ; Jakoby, Bernhard Mid-​infrared rib waveguide absorption sensors based on SiKonferenzbeitrag Inproceedings2013