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Full name
Familienname, Vorname
Weißenbach, Josef
Main Affiliation
Organisationszuordnung
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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Author(s)
Title
Type
Issue Date
1
Schlögl, Matthias
; Weißenbach, Josef
; Schneider, Michael
; Schmid, Ulrich
Stress engineering of polycrystalline aluminum nitride thin films for strain sensing with resonant piezoelectric microbridges
Article
Artikel
1-Jan-2023
2
Weißenbach, Josef
Piezoelectric resonant MEMS strain sensors and their temperature behavior
Thesis
Hochschulschrift
2021
3
Schneider, Michael
; Weißenbach, Josef
; Schmid, Ulrich
Einfluss von Substrattemperatur und Bias-Spannung auf die Eigenschaften von gesputterten AlN Dünnfilmen für BAWs
Konferenzbeitrag
Inproceedings
2019