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Full name Familienname, Vorname
Biebl, Fabian
 
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1Biebl, Fabian ; Glawar, Robert ; Jalali, Anahid ; Ansari, Fazel ; Haslhofer, Bernhard ; Boer, Peter de ; Sihn, Wilfried A conceptual model to enable prescriptive maintenance for etching equipment in semiconductor manufacturingKonferenzbeitrag Inproceedings 2020
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