Tagungsband der Dornbirner Mikrotechniktage 2010
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Tagungsband der Dornbirner Mikrotechniktage 2010
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| Preview | Authors / Editors | Title | Type | Issue Date | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Steiner, Harald ; Sachse, Matthias ; Schalko, Johannes ; Hortschitz, Wilfried ; Jachimowicz, Artur | Experimenteller Aufbau zum Beschichten von selbstorganisierenden Monoschicht zur Reduktion von Stiction bei Silicium MEMS Bauteilen | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2010 |