MikroSystemTechnik Kongress 2017 - Proceedings
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MikroSystemTechnik Kongress 2017 - Proceedings
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VDE Verlag GMBH
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| Preview | Authors / Editors | Title | Type | Issue Date | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Fischeneder, Martin ; Oposich, Martin ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich | Aktive Q-Faktor Regelung von piezoelektrischen MEMS Cantilevern für High Speed AFM Anwendungen in Vakuum | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2017 | |
| 2 | Dorfmeister, Manuel ; Pfister, R. ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich | Analytische Modellierung von kreisförmigen, bistabilen Membranen mit unterschiedlichen, geometrischen Abmessungen | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2017 | |
| 3 | Schneider, Michael ; Weißenbach, Josef ; Schmid, Ulrich | Einfluss von Substrattemperatur und Bias-Spannung auf die Eigenschaften von gesputterten AlN Dünnfilmen für BAWs | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2019 | |
| 4 | Pfusterschmied, Georg ; Kucera, Martin ; Steindl, W. ; Bittner, Achim ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich | Überwachung der Dichteänderung während der Weinfermentation mit piezoelektrischen MEMS-Resonatoren | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2017 |