MikroSystemTechnik Kongress 2017 - Proceedings

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MikroSystemTechnik Kongress 2017 - Proceedings
 
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VDE Verlag GMBH
 

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1Fischeneder, Martin ; Oposich, Martin ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich Aktive Q-Faktor Regelung von piezoelektrischen MEMS Cantilevern für High Speed AFM Anwendungen in VakuumKonferenzbeitrag Inproceedings2017
2Dorfmeister, Manuel ; Pfister, R. ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich Analytische Modellierung von kreisförmigen, bistabilen Membranen mit unterschiedlichen, geometrischen AbmessungenKonferenzbeitrag Inproceedings2017
3Schneider, Michael ; Weißenbach, Josef ; Schmid, Ulrich Einfluss von Substrattemperatur und Bias-Spannung auf die Eigenschaften von gesputterten AlN Dünnfilmen für BAWsKonferenzbeitrag Inproceedings2019
4Pfusterschmied, Georg ; Kucera, Martin ; Steindl, W. ; Bittner, Achim ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich Überwachung der Dichteänderung während der Weinfermentation mit piezoelektrischen MEMS-ResonatorenKonferenzbeitrag Inproceedings2017