Mikrosystemtechnik-Kongress 2021

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Mikrosystemtechnik-Kongress 2021
 
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VDE-Verlag
 

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1Ignat, Ioan ; Schuster, Bernhard ; Hafner, Jonas ; Kwon, MinHee ; Platz, Daniel ; Schmid, Ulrich Mechanical cooling of AFM cantileversKonferenzbeitrag Inproceedings2021
2Gesing, André L. ; Platz, Daniel ; Schmid, Ulrich Quality Factors of MEMS Plate Modes in FluidsKonferenzbeitrag Inproceedings2021