MikroSystemTechnik Kongress 2019
Event name
MikroSystemTechnik Kongress 2019
Start date
28-10-2019
End date
30-10-2019
Location
München, Deutschland
Country
Event format Veranstaltungsformat
On Site
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| Preview | Authors / Editors | Title | Type | Issue Date | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Pfusterschmied, Georg ; Weinmann, Christoph ; Schneider, Michael ; Hospodka, Markus ; Mirwald, Johannes ; Hofko, Bernhard ; Schmid, Ulrich | Bestimmung der dynamischen Viskosität von Bitumenderivaten bis 64000 mPa∙s mit piezoelektrischen MEMS-Resonatoren | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2019 | |
| 2 | Schneider, Michael ; Weißenbach, Josef ; Schmid, Ulrich | Einfluss von Substrattemperatur und Bias-Spannung auf die Eigenschaften von gesputterten AlN Dünnfilmen für BAWs | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2019 | |
| 3 | Platz, Daniel ; Gesing, André L. ; Schmid, Ulrich | Modellierung der Fluiddämpfung unkonventioneller Schwingungsmoden in MEMS-Resonatoren - Modelling fluid damping of non-conventional vibrational modes in MEMS resonators | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2019 |