Herstellung, Charakterisierung von SiC Bauelementen

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Primary Data

Project Acronym Projekt Kurzbezeichnung
PhD SiC-Schottky Diode
 
Project Title (de) Projekttitel (de)
Herstellung, Charakterisierung von SiC Bauelementen
 
Project Title (en) Projekttitel (en)
Fabrication and evaluation of SiC based devices
 
Consortium Coordinator Koordinator des Konsortiums
 
Principal Investigator Projektleiter_in
 

Grants

Funder/Funding Agency Fördergeber
BM für Klimaschutz, Umwelt, Mobilit Energie, Innovation BMK
Grant number Förderkennnummer
005886
 

Publications

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PreviewAuthors / EditorsTitleTypeIssue Date
1Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich Effect of Reactive Gas Flow Ratio on IC-PECVD Deposited a-SiC:H Thin FilmsKonferenzbeitrag Inproceedings 2014