Multi-Scale-Prozessmodellierung von Halbleiter-Bauelemente und -Sensoren


Project Acronym Projekt Kurzbezeichnung
CDL_ProMod
 
Project Title (de) Projekttitel (de)
Multi-Scale-Prozessmodellierung von Halbleiter-Bauelemente und -Sensoren
 
Project Title (en) Projekttitel (en)
Multi-Scale Process Modeling of Semiconductor Devices and Sensors
 
Consortium Coordinator Koordinator des Konsortiums
 
Principal Investigator Projektleiter_in
 
Funder/Funding Agency Fördergeber
Christian Doppler Forschungsgesells
Grant number Förderkennnummer
00000
 

Publications

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Subject:  Atomic layer deposition

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PreviewAuthor(s)TitleTypeIssue Date
1Reiter-2023-Solid-State Electronics-vor.pdf.jpgReiter, Tobias ; Aguinsky, Luiz Felipe ; Souza Berti Rodrigues, Francio ; Weinbub, Josef ; Hössinger, Andreas ; Filipovic, Lado Modeling the Impact of Incomplete Conformality During Atomic Layer ProcessingArticle Artikel Jan-2024