Multi-Scale-Prozessmodellierung von Halbleiter-Bauelemente und -Sensoren

View Statistics Email Alert RSS Feed

Primary Data

Project Acronym Projekt Kurzbezeichnung
CDL_ProMod
 
Project Title (de) Projekttitel (de)
Multi-Scale-Prozessmodellierung von Halbleiter-Bauelemente und -Sensoren
 
Project Title (en) Projekttitel (en)
Multi-Scale Process Modeling of Semiconductor Devices and Sensors
 
Consortium Coordinator Koordinator des Konsortiums
 
Principal Investigator Projektleiter_in
 

Grants

Funder/Funding Agency Fördergeber
Christian Doppler Forschungsgesells
Grant number Förderkennnummer
00000
 

Publications

Filter:
Subject:  Design-technology co-optimization (DTCO)

Results 1-1 of 1 (Search time: 0.001 seconds).

PreviewAuthor(s)TitleTypeIssue Date
1Filipovic, Lado ; Bobinac, Josip ; Piso, Julius ; Reiter, Tobias Physics-Informed Compact Model for SF6/O2 Plasma EtchingInproceedings Konferenzbeitrag20-Nov-2023