KI-gestützte Multi-Scale-Modellierung der Halbleiterfertigung

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Primary Data

Project Acronym Projekt Kurzbezeichnung
AI-ModS
 
Project Title (de) Projekttitel (de)
KI-gestützte Multi-Scale-Modellierung der Halbleiterfertigung
 
Project Title (en) Projekttitel (en)
AI-driven Multi-Scale Modeling of Semiconductor Fabrication
 
Consortium Coordinator Koordinator des Konsortiums
 
Principal Investigator Projektleiter_in
 

Grants

Funder/Funding Agency Fördergeber
Global TCAD Solutions GmbH
Grant number Förderkennnummer
AI-ModS
 

Publications

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PreviewAuthor(s)TitleTypeIssue Date
1Filipovic, Lado From Atoms to Reactors: Multi-Scale Modeling for Semiconductor FabricationInproceedings Konferenzbeitrag 2025