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Mayrhofer, Patrick
 
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1Schmidt, Rainer ; Mayrhofer, Patrick ; Schmid, Ulrich ; Bittner, Achim Impedance spectroscopy of Al/AlN/n- Si metal-insulator-semiconductor (MIS) structuresArtikel Article 2019
2Wistrela, E. ; Schmied, I. ; Schneider, M. ; Gillinger, M. ; Mayrhofer, P.M. ; Bittner, A. ; Schmid, U. Impact of sputter deposition parameters on the microstructural and piezoelectric properties of Cr x Al 1−x N thin filmsArtikel Article 2018
3Schneider, Michael ; Mayrhofer, Patrick ; Gillinger, Manuel ; Pfusterschmied, Georg ; Schmid, Ulrich Piezoelectric MEMS: Material Aspects and DevicesPräsentation Presentation2017
4Mayrhofer, Patrick ; Rehlendt, Christopher ; Fischeneder, Martin ; Kucera, Martin ; Wistrela, Elisabeth ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich ScAlN MEMS Cantilevers for Vibrational Energy Harvesting PurposesArtikel Article 2017
5Mayrhofer, Patrick Erhöhung der piezoelektrischen Koeffizienten von gesputterten AlN- Dünnfilmen durch Dotieren mit Übergangsmetallen für MEMSThesis Hochschulschrift2016
6Mayrhofer, P.M. ; Wistrela, E. ; Schneider, M. ; Bittner, A. ; Schmid, U. Precise Determination of d 33 and d 31 from Piezoelectric Deflection Measurements and 2D FEM Simulations Applied to Sc x Al 1-x NKonferenzbeitrag Inproceedings 2016
7Wang, W B ; Fu, Y Q ; Chen, J J ; Xuan, W P ; Chen, J K ; Wang, X Z ; Mayrhofer, P ; Duan, P F ; Bittner, A ; Schmid, U ; Luo, J K AlScN thin film based surface acoustic wave devices with enhanced microfluidic performanceArtikel Article 2016
8Mayrhofer, P. M. ; Persson, P. O. Å. ; Bittner, A. ; Schmid, U. Properties of ScxAl1‑xN (x = 0.27) thin films on sapphire and silicon substrates upon high temperature loadingArtikel Article 2016
9Voglhuber-Brunnmaier, Thomas ; Reichel, E. K. ; Jakoby, Bernhard ; Beigelbeck, Roman ; Mayrhofer, Patrick ; Schmid, Ulrich Fast method for the calculation of surface bending on circular multilayered piezoelectric structuresKonferenzbeitrag Inproceedings 2016
10Mayrhofer, Patrick ; Rehlendt, Christopher ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Scandium Aluminium Nitrid für MEMS Anwendungen---PosterKonferenzbeitrag Inproceedings2016
11Mayrhofer, Patrick ; Rehlendt, Christopher ; Bittner, Achim ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich Scandium Aluminium Nitride for MEMS ApplicationsKonferenzbeitrag Inproceedings2016
12Mayrhofer, Patrick ; Wistrela, Elisabeth ; Kucera, Martin ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Fabrication and Characterisation of ScAlN-based Piezoelectric MEMS CantileversKonferenzbeitrag Inproceedings2015
13Mayrhofer, Patrick ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich High Temperature Stability of ScxAl1-xN (x= 0.27) Thin FilmsKonferenzbeitrag Inproceedings2015
14Mayrhofer, P.M. ; Euchner, H. ; Bittner, A. ; Schmid, U. Circular test structure for the determination of piezoelectric constants of ScxAl1−xN thin films applying Laser Doppler Vibrometry and FEM simulationsArtikel Article 2015
15Mayrhofer, Patrick ; Riedl, Helmut ; Euchner, Holger ; Stöger-Pollach, Michael ; Mayrhofer, Paul Heinz ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Microstructure and piezoelectric response of YxAl1−xN thin filmsArtikel Article 2015
16Mayrhofer, P.M. ; Euchner, H. ; Bittner, A. ; Schmid, U. Circular Patterned Test Structures for Precise Determination of Piezoelectric Thin Film Constants: Application to ScxAl1-xNKonferenzbeitrag Inproceedings 2014
17Mayrhofer, Patrick ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Piezoelectric Constant Determination of ScxAl1-xN via a Combination of Laser Doppler Vibrometry and FEM Simulation: Circular test structuresPräsentation Presentation2014
18Mayrhofer, P. M. ; Eisenmenger-Sittner, C. ; Stöger-Pollach, M. ; Euchner, H. ; Bittner, A. ; Schmid, U. The impact of argon admixture on the c-axis oriented growth of direct current magnetron sputtered ScxAl1xN thin filmsArtikel Article2014
19Wang, Wenbo ; Mayrhofer, Patrick ; He, Xingli ; Gillinger, Manuel ; Ye, Zhi ; Wang, Xiaozhi ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich ; Luo, J. K. High performance AlScN thin film based surface acoustic wave devices with large electromechanical coupling coefficientArtikel Article 2014
20Mayrhofer, P. M. ; Eisenmenger-Sittner, C. ; Euchner, H. ; Bittner, A. ; Schmid, U. Influence of c-axis orientation and scandium concentration on infrared active modes of magnetron sputtered ScxAl1-xN thin filmsArtikel Article2013

Contributing Publications Mitbeteiligte Publikationen

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PreviewAuthors / EditorsTitleTypeIssue Date
1Rehlendt, Christopher Herstellung und Charakterisierung von ScxAl1-xN basierten piezoelektrischen MEMS Energy HarvesternThesis Hochschulschrift2016
2Mayrhofer, Patrick Erhöhung der piezoelektrischen Koeffizienten von gesputterten AlN Dünnfilmen durch Dotieren mit Übergangsmetallen für MEMSBuch Book2016