Prefix title Titel (vorangestellt)
Dipl.-Ing. Dr.-Ing.
Full name Familienname, Vorname
Bittner, Achim
Main Affiliation Organisations­zuordnung

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PreviewAuthors / EditorsTitleTypeIssue Date
1Schmid, Ulrich ; Hajian, Ali ; Bittner, Achim Wet chemical Etching as an Effective Technique for the Local Permittivity Reduction of LTCC SubstratesKonferenzbeitrag Inproceedings2019
2Fischeneder M - 2018 - Enhanced process stability for the low temperature...pdf.jpgFischeneder, Martin ; Bittner, Achim ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich Enhanced process stability for the low temperature sputter deposition of aluminium nitride thin filmsArticle Artikel Jun-2018
3Talai, Armin ; Kölpin, K. ; Bittner, Achim ; Steinhäußer, Frank ; Schmid, Ulrich ; Tillle, Thomas Porösizierte Glaskeramik-Substrate für die RadarsensorikBuchbeitrag Book Contribution2018
4Iannacci, J. ; Serra, E. ; Sordo, G. ; Bonaldi, M. ; Borrielli, A. ; Schmid, U. ; Bittner, A. ; Schneider, M. ; Kuenzig, T. ; Schrag, G. ; Pandraud, G. ; Sarro, P. M. MEMS-based multi-modal vibration energy harvesters for ultra-low power autonomous remote and distributed sensingArtikel Article2018
5Wistrela, E. ; Schmied, I. ; Schneider, M. ; Gillinger, M. ; Mayrhofer, P.M. ; Bittner, A. ; Schmid, U. Impact of sputter deposition parameters on the microstructural and piezoelectric properties of Cr x Al 1−x N thin filmsArtikel Article2018
6Fischeneder, M. ; Wistrela, E. ; Bittner, A. ; Schneider, M. ; Schmid, U. Tailored wafer holder for a reliable deposition of sputtered aluminium nitride thin films at low temperaturesArtikel Article2017
7Mayrhofer, Patrick ; Rehlendt, Christopher ; Bittner, Achim ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich Scandium Aluminium Nitride for MEMS ApplicationsKonferenzbeitrag Inproceedings2016
8Schneider, Michael ; Bittner, Achim ; Kucera, Martin ; Schmid, Ulrich ; Tille Thomas Piezoelektrische MEMS Sensoren zur Viskositäts- und Dichtebestimmung von technischen FlüssigkeitenBuchbeitrag Book Contribution 2016
9Mayrhofer, P. M. ; Persson, P. O. Å. ; Bittner, A. ; Schmid, U. Properties of ScxAl1‑xN (x = 0.27) thin films on sapphire and silicon substrates upon high temperature loadingArtikel Article2016
10Wang, W B ; Fu, Y Q ; Chen, J J ; Xuan, W P ; Chen, J K ; Wang, X Z ; Mayrhofer, P ; Duan, P F ; Bittner, A ; Schmid, U ; Luo, J K AlScN thin film based surface acoustic wave devices with enhanced microfluidic performanceArtikel Article2016
11Mayrhofer, P.M. ; Wistrela, E. ; Schneider, M. ; Bittner, A. ; Schmid, U. Precise Determination of d 33 and d 31 from Piezoelectric Deflection Measurements and 2D FEM Simulations Applied to Sc x Al 1-x NKonferenzbeitrag Inproceedings 2016
12Pfusterschmied, Georg ; Kucera, Martin ; Toledo, Javier ; Steindl, W. ; Ruiz-Díez, V. ; Bittner, Achim ; Schneider, Michael ; Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Schmid, Ulrich Wine Fermentation Monitoring Using Piezoelectric MEMS ResonatorsKonferenzbeitrag Inproceedings2016
13Schneider, Michael ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Improved Piezoelectric Coefficients in Ultra-thin Aluminum Nitride Thin FilmsKonferenzbeitrag Inproceedings2016
14Mayrhofer, Patrick ; Rehlendt, Christopher ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Scandium Aluminium Nitrid für MEMS Anwendungen---PosterKonferenzbeitrag Inproceedings2016
15Steinhäußer, Frank ; Talai, Armin ; Weigel, Robert ; Koelpin, Alexander ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Permittivity Reduction and Surface Modification by Porosification of LTCCArtikel Article2016
16Steinhäußer, Frank ; Talai, Armin ; Sandulache, Gabriela ; Weigel, Robert ; Koelpin, Alexander ; Hansal, Wolfgang ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Pulse plated silver metallization on porosified LTCC substrates for high frequency applicationsArtikel Article2016
17Pfusterschmied, Georg ; Kucera, Martin ; Steindl, W. ; Manzaneque, T. ; Ruiz-Díez, V. ; Bittner, Achim ; Schneider, Michael ; Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Schmid, Ulrich Roof tile-shaped modes in quasi free-free supported piezoelectricmicroplate resonators in high viscous fluidsArtikel Article2016
18Dergez, D. ; Schneider, M. ; Bittner, A. ; Pawlak, N. ; Schmid, U. Mechanical and electrical properties of RF magnetron sputter deposited amorphous silicon-rich silicon nitride thin filmsArtikel Article2016
19Backes, Andreas ; Bittner, Achim ; Leitgeb, Markus ; Schmid, Ulrich Influence of metallic catalyst and doping level on the metal assisted chemical etching of siliconArtikel Article2016
20Backes, Andreas ; Leitgeb, Markus ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Temperature Dependent Pore Formation in Metal Assisted Chemical Etching of SiliconArtikel Article2016

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PreviewAuthors / EditorsTitleTypeIssue Date
1Pfusterschmied, Georg Piezoelectric MEMS devices for sensing and harvesting applicationsThesis Hochschulschrift2013