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Waag, A.

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		Preview	Author(s)	Title	Type	Issue Date
	1		Sökmen, Ü. ; Waag, A. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Peiner, E.	AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIE	Konferenzbeitrag Inproceedings	2010
	2		Sökmen, Ü. ; Peiner, E. ; Waag, A. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich	AlN on Solicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIE	Konferenzbeitrag Inproceedings	2009
	3		Sökmen, Ü. ; Stranz, A. ; Waag, A. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Peiner, E.	Realization of AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing	Konferenzbeitrag Inproceedings	2009