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Seidel, Helmut
 

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1Kirsch, Christian ; Feili, Dara ; Schmid, Ulrich ; Balck, A. ; Leester-Schaedel, Monika ; Büttgenbach, S. ; Seidel, Helmut Untersuchung des Bucklingeffektes an mittels gesputtertem Wolfram vorgespannten Siliziummembranen für MikroaktorikanwendungenKonferenzbeitrag Inproceedings2013
2Bittner, Achim ; Nagel, N. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich The Impact of Substrate Properties on the Electromigration Resistance of Sputter-Deposited Cu Thin FilmsPräsentation Presentation2011
3Ziegler, Volker ; Stehle, A. ; Georgiev, G. ; Schönlinner, B. ; Prechtel, Ulrich ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich SP48T Module Architecture and RF-MEMS Multi-Throw Switches for a Multi-beam Antenna Measurement Set-Up at K- and Ka-BandKonferenzbeitrag Inproceedings2009
4Bolzmacher, Christian ; Bauer, Karin ; Schmid, Ulrich ; Hafez, M. ; Seidel, Helmut Robust Superelastic, Metallic Amplification Unit for Piezoelectric MicroactuatorsKonferenzbeitrag Inproceedings 2009
5Klein, S. ; Comtesse, C. ; Bittner, Achim ; Seidel, Helmut ; Ziegler, Volker ; Prechtel, Ulrich ; Schmid, Ulrich RF MEMS Switches Based on an Alloy of Aluminum-Silicon-CopperKonferenzbeitrag Inproceedings 2009
6Oliver, M. J. ; Hernando-Garcia, J. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Olivares, J. ; Iborra, E. ; Pobedinskas, P. ; Haenen, K. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis Resonant Piezoelectric AlN-actuated Microcantilevers For Detection Of Antigen/Antibody InteractionsPräsentation Presentation2011
7Bittner, Achim ; Klein, S. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich Reliability of Ag Thin Films Sputter Deposited on Silicon and Ceramic Based SubstratesKonferenzbeitrag Inproceedings 2009
8Sökmen, Ü. ; Stranz, A. ; Waag, A. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Peiner, E. Realization of AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass SensingKonferenzbeitrag Inproceedings2009
9Ababneh, A. ; Al-Omari, A.N. ; Qiu, H.C. ; Manzaneque, T. ; Hernando-Garcia, J. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut Pressure Dependence of the Quality Factor of Piezoelectrically driven AlN/Si-MicrocantileversKonferenzbeitrag Inproceedings2013
10Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Hernando-Garcia, J. ; Donoso, A. ; Bellido, J. C. ; Gutiérrez, L. M. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich Piezoelectric Modal Sensors/actuators Based On Microplates Applying Surface Electrode PatterningKonferenzbeitrag Inproceedings2009
11Balck, A. ; Leester-Schaedel, Monika ; Kirsch, Christian ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut ; Büttgenbach, S. Novel Energy-Saving Microvalve For Medical ApplicationsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
12Ruiz-Díez, V. ; Hernando-Garcia, J. ; Kucera, Martin ; Ababneh, A. ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut ; Sànchez-Rojas, Jose Luis Modelling Of Out-Of-Plane And In-Plane Modes Of Microplates In Liquid MediaKonferenzbeitrag Inproceedings2014
13Bittner, Achim ; Seidel, Helmut ; Kautenburger, R. ; Roosen, A. ; Schmid, Ulrich Investigation on the Porosification Behaviour of Fired LTCC SubstratesKonferenzbeitrag Inproceedings2009
14Klein, S. ; Thilmont, S. ; Ziegler, Volker ; Prechtel, Ulrich ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut High Temperature Stable Rf Mems Switch Based On Tungsten-TitaniumKonferenzbeitrag Inproceedings2009
15Ababneh, A. ; Schmid, Ulrich ; Hernando-Garcia, J. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Seidel, Helmut Ermittlung der piezoelektrischen Koeffizienten von AlN-Dünnfilmen mit unterschiedlicher KristallorientierungKonferenzbeitrag Inproceedings2009
16Grosser, M. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich Einfluss der Sputterparameter auf Morphologie, Phasenbildung und elektrische Eigenschaften von dünnen TantalschichtenKonferenzbeitrag Inproceedings2009
17Bittner, Achim ; Klein, S. ; Seidel, Helmut ; Schwanke, Dieter ; Schmid, Ulrich Einfluss der Abscheideparameter auf die Mikrostruktur von Silberdünnfilmen auf LTCCKonferenzbeitrag Inproceedings2009
18Ruiz-Díez, V. ; Manzaneque, T. ; Hernando-Garcia, J. ; Ababneh, A. ; Kucera, Martin ; Al-Omari, A.N. ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut ; Sànchez-Rojas, Jose Luis Contour And Flexure-Actuated In-Plane Modes Of Aln-Based Piezoelectric Vibrating MemsKonferenzbeitrag Inproceedings2013
19Ababneh, A. ; Marchand, Günter ; Seidel, Helmut ; Hernando-Garcia, J. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Sökmen, Ü. ; Peiner, E. ; Schmid, Ulrich Comparison Between AlN Thin Films with Different Crystal Orientation for MEMS ApplicationsKonferenzbeitrag Inproceedings 2009
20Klein, S. ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut CMOS kompatible RF MEMS SchalterKonferenzbeitrag Inproceedings2009