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Seidel, Helmut
 

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1Grosser, Michaela ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich Microstructure and Mechanical Properties of Sputter Deposited Tantalum Nitride Thin Films after High Temperature LoadingArtikel Article 2017
2Ruiz-Díez, V. ; Hernando-Garcia, J. ; Kucera, Martin ; Ababneh, A. ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut ; Sànchez-Rojas, Jose Luis Modelling Of Out-Of-Plane And In-Plane Modes Of Microplates In Liquid MediaKonferenzbeitrag Inproceedings2014
3Ruiz-Díez, V. ; Manzaneque, T. ; Hernando-Garcia, J. ; Ababneh, A. ; Kucera, Martin ; Al-Omari, A.N. ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut ; Sànchez-Rojas, Jose Luis Contour And Flexure-Actuated In-Plane Modes Of Aln-Based Piezoelectric Vibrating MemsKonferenzbeitrag Inproceedings2013
4Ababneh, A. ; Al-Omari, A.N. ; Qiu, H.C. ; Manzaneque, T. ; Hernando-Garcia, J. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut Pressure Dependence of the Quality Factor of Piezoelectrically driven AlN/Si-MicrocantileversKonferenzbeitrag Inproceedings2013
5Kirsch, Christian ; Feili, Dara ; Schmid, Ulrich ; Balck, A. ; Leester-Schaedel, Monika ; Büttgenbach, S. ; Seidel, Helmut Untersuchung des Bucklingeffektes an mittels gesputtertem Wolfram vorgespannten Siliziummembranen für MikroaktorikanwendungenKonferenzbeitrag Inproceedings2013
6Kulygin, Alexander ; Kirsch, Christian ; Schwarz, Patrick ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut Decoupled Surface Micromachined Gyroscope With Single-Point SuspensionArtikel Article2012
7Ababneh, A. ; Alsumady, M. ; Seidel, Helmut ; Manzaneque, T. ; Hernando-Garcia, J. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich c-axis orientation and piezoelectric coefficients of AlN thin films sputter-deposited on titanium bottom electrodesArtikel Article2012
8Grosser, M. ; Münch, M. ; Seidel, Helmut ; Bienert, C. ; Roosen, A. ; Schmid, Ulrich The impact of substrate properties and thermal annealing on tantalum nitride thin filmsArtikel Article 2012
9Bittner, Achim ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich Permittivity of modified polyimide layers on LTCCArtikel Article2011
10Oliver, M. J. ; Hernando-Garcia, J. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Olivares, J. ; Iborra, E. ; Pobedinskas, P. ; Haenen, K. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis Resonant Piezoelectric AlN-actuated Microcantilevers For Detection Of Antigen/Antibody InteractionsPräsentation Presentation2011
11Ruiz, David ; Hernando-Garcia, J. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Gimzewski, J.K. Characterization of the first in-plane mode of AlN-actuated microcantileversPräsentation Presentation2011
12Oliver, M. J. ; Hernando-Garcia, J. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Olivares, J. ; Iborra, E. ; Pobedinskas, P. ; Haenen, K. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis Resonant Piezoelectric AlN-actuated Microcantilevers For Detection Of Antigen/Antibody InteractionsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
13Ruiz, David ; Hernando-Garcia, J. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Gimzewski, J.K. ; Sánchez-Rojas, José Luis Characterization of the first in-plane mode of AlN-actuated microcantileversKonferenzbeitrag Inproceedings2011
14Bittner, Achim ; Nagel, N. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich The Impact of Substrate Properties on the Electromigration Resistance of Sputter-Deposited Cu Thin FilmsPräsentation Presentation2011
15Bittner, Achim ; Nagel, N. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich The Impact of Substrate Properties on the Electromigration Resistance of Sputter-Deposited Cu Thin FilmsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
16Balck, A. ; Leester-Schaedel, Monika ; Kirsch, Christian ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut ; Büttgenbach, S. Novel Energy-Saving Microvalve For Medical ApplicationsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
17Sökmen, Ü. ; Waag, A. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Peiner, E. AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIEKonferenzbeitrag Inproceedings2010
18Klein, S. ; Seidel, Helmut ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich CMOS-Compatible RF-MEMS SwitchesArtikel Article2010
19Bittner, Achim ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich High-Frequency Characterization of Porous Low-Temperature Cofired Ceramics SubstratesArtikel Article2010
20Hernando, Jorge ; Sánchez-Rojas, Jose Luis ; Schmid, Ulrich ; Ababneh, Abdallah ; Marchand, Günter ; Seidel, Helmut Characterization and displacement control of low surface-stress AlN-based piezoelectric micro-resonatorsArtikel Article2010