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Kirsch, Christian
 

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1Kirsch, Christian ; Feili, Dara ; Schmid, Ulrich ; Balck, A. ; Leester-Schaedel, Monika ; Büttgenbach, S. ; Seidel, Helmut Untersuchung des Bucklingeffektes an mittels gesputtertem Wolfram vorgespannten Siliziummembranen für MikroaktorikanwendungenKonferenzbeitrag Inproceedings2013
2Kulygin, Alexander ; Kirsch, Christian ; Schwarz, Patrick ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut Decoupled Surface Micromachined Gyroscope With Single-Point SuspensionArtikel Article2012
3Balck, A. ; Leester-Schaedel, Monika ; Kirsch, Christian ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut ; Büttgenbach, S. Novel Energy-Saving Microvalve For Medical ApplicationsKonferenzbeitrag Inproceedings2011