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Klein, Alexander
 
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1Klein, Alexander ; Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich Einfluss der Schichtdicke auf das mechanische Verhalten und die Bruchstabilität von a-SiC:H MembranenKonferenzbeitrag Inproceedings2016
2Frischmuth, Tobias ; Klein, Alexander ; Schneider, Michael ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich Fracture analysis of a-SiC:H membranes after thermal annealingKonferenzbeitrag Inproceedings 2016
3Schneider, M. ; Bittner, A. ; Klein, A. ; Schmid, U. Impact of film thickness and temperature on the dielectric breakdown behavior of sputtered aluminum nitride thin filmsArtikel Article2015