Book title Buchtitel
MME 2009
 
Publisher Herausgeber
LAAS-CNS
 

Publications Publikationen

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1Sökmen, Ü. ; Stranz, A. ; Waag, A. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Peiner, E. Realization of AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass SensingKonferenzbeitrag Inproceedings2009