Proceedings of SPIE - Smart Sensors, Actuators, and MEMS VI

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Proceedings of SPIE - Smart Sensors, Actuators, and MEMS VI
 
Publisher Herausgeber
SPIE
 
Place of publishing Erscheinungsort
8763
 

Publications Publikationen

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PreviewAuthors / EditorsTitleTypeIssue Date
1Stifter, Michael ; Steiner, Harald ; Kainz, Andreas Franz Hubert ; Keplinger, Franz ; Hortschitz, Wilfried ; Sauter, Thilo A Lorentz Force Actuated Magnetic Field Sensor with Capacitive Read-OutKonferenzbeitrag Inproceedings 2013
2Encke, Jörg ; Hortschitz, Wilfried ; Kainz, Andreas Franz Hubert ; Steiner, Harald ; Keplinger, Franz ; Sauter, Thilo A Miniaturised Linear Shaker System for MEMS Sensor CharacterisationKonferenzbeitrag Inproceedings 2013
3Hortschitz, Wilfried ; Kainz, Andreas Franz Hubert ; Encke, Jörg ; Kohl, Franz ; Steiner, Harald ; Stifter, Michael ; Sauter, Thilo ; Keplinger, Franz Exploiting Infrared Transparency of Silicon for the Construction of Advanced MOEMS Vibration SensorsKonferenzbeitrag Inproceedings 2013
4Steiner, Harald ; Hortschitz, Wilfried ; Stifter, Michael ; Keplinger, Franz ; Sauter, Thilo Highly Sensitive Thermal Actuators for Temperature SensingKonferenzbeitrag Inproceedings 2013
5Hansal, W. ; Steiner, Harald ; Mann, R. ; Halmdienst, M. ; Schalko, Johannes ; Keplinger, Franz Microgalvanic nickel pulse plating process for the production of thermal actuatorsKonferenzbeitrag Inproceedings 2013