OVE Schriftenreihe
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OVE Schriftenreihe
Publisher Herausgeber
Schriftenreihe OVE
Place of publishing Erscheinungsort
83
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| Preview | Authors / Editors | Title | Type | Issue Date | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Klein, Alexander ; Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich | Einfluss der Schichtdicke auf das mechanische Verhalten und die Bruchstabilität von a-SiC:H Membranen | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2016 | |
| 2 | Mayrhofer, Patrick ; Rehlendt, Christopher ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich | Scandium Aluminium Nitrid für MEMS Anwendungen---Poster | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2016 |