OVE Schriftenreihe

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Schriftenreihe OVE

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		Preview	Author(s)	Title	Type	Issue Date
	1		Klein, Alexander ; Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich	Einfluss der Schichtdicke auf das mechanische Verhalten und die Bruchstabilität von a-SiC:H Membranen	Konferenzbeitrag Inproceedings	2016
	2		Mayrhofer, Patrick ; Rehlendt, Christopher ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich	Scandium Aluminium Nitrid für MEMS Anwendungen---Poster	Konferenzbeitrag Inproceedings	2016