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OVE Schriftenreihe
 
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Schriftenreihe OVE
 
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83
 

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1Klein, Alexander ; Frischmuth, Tobias ; Schneider, Michael ; Grille, Thomas ; Schmid, Ulrich Einfluss der Schichtdicke auf das mechanische Verhalten und die Bruchstabilität von a-SiC:H MembranenKonferenzbeitrag Inproceedings2016
2Mayrhofer, Patrick ; Rehlendt, Christopher ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Scandium Aluminium Nitrid für MEMS Anwendungen---PosterKonferenzbeitrag Inproceedings2016