Smart Sensors, Actuators, and MEMS VI - 2013

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Description

Event name
Smart Sensors, Actuators, and MEMS VI - 2013
 
Event type
Event for scientific audience
 
Start date
24-04-2013
End date
26-04-2013
 
Location
Grenoble, France
Country
Europe
 
Event format Veranstaltungsformat
On Site

Publications Publikationen

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VorschauAutor_in(nen)TitelDokumenttypErscheinungs­datum
1Stifter, Michael ; Steiner, Harald ; Kainz, Andreas Franz Hubert ; Keplinger, Franz ; Hortschitz, Wilfried ; Sauter, Thilo A Lorentz Force Actuated Magnetic Field Sensor with Capacitive Read-OutKonferenzbeitrag Inproceedings 2013
2Encke, Jörg ; Hortschitz, Wilfried ; Kainz, Andreas Franz Hubert ; Steiner, Harald ; Keplinger, Franz ; Sauter, Thilo A Miniaturised Linear Shaker System for MEMS Sensor CharacterisationKonferenzbeitrag Inproceedings 2013
3Hortschitz, Wilfried ; Kainz, Andreas Franz Hubert ; Encke, Jörg ; Kohl, Franz ; Steiner, Harald ; Stifter, Michael ; Sauter, Thilo ; Keplinger, Franz Exploiting Infrared Transparency of Silicon for the Construction of Advanced MOEMS Vibration SensorsKonferenzbeitrag Inproceedings 2013
4Steiner, Harald ; Hortschitz, Wilfried ; Stifter, Michael ; Keplinger, Franz ; Sauter, Thilo Highly Sensitive Thermal Actuators for Temperature SensingKonferenzbeitrag Inproceedings 2013
5Hansal, W. ; Steiner, Harald ; Mann, R. ; Halmdienst, M. ; Schalko, Johannes ; Keplinger, Franz Microgalvanic nickel pulse plating process for the production of thermal actuatorsKonferenzbeitrag Inproceedings 2013