Multi-Scale-Prozessmodellierung von Halbleiter-Bauelemente und -Sensoren


Project Acronym Projekt Kurzbezeichnung
CDL_ProMod
 
Project Title (de) Projekttitel (de)
Multi-Scale-Prozessmodellierung von Halbleiter-Bauelemente und -Sensoren
 
Project Title (en) Projekttitel (en)
Multi-Scale Process Modeling of Semiconductor Devices and Sensors
 
Consortium Coordinator Koordinator des Konsortiums
 
Principal Investigator Projektleiter_in
 
Funder/Funding Agency Fördergeber
Christian Doppler Forschungsgesells
Grant number Förderkennnummer
00000
 

Publications

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Author:  Piso, Julius

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PreviewAuthor(s)TitleTypeIssue Date
1Filipovic, Lado ; Bobinac, Josip ; Piso, Julius ; Reiter, Tobias Physics-Informed Compact Model for SF6/O2 Plasma EtchingInproceedings Konferenzbeitrag20-Nov-2023
2Bobinac-2023-Micromachines-vor.pdf.jpgBobinac, Josip ; Reiter, Tobias ; Piso, Julius ; Klemenschits, Xaver ; Baumgartner, Oskar ; Stanojevic, Zlatan ; Strof, Georg ; Karner, Markus ; Filipovic, Lado Effect of Mask Geometry Variation on Plasma Etching ProfilesArticle Artikel 16-Mar-2023