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Patocka, Florian
 
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1Schneider, Michael ; Pfusterschmied, Georg ; Patocka, Florian ; Schmid, Ulrich High performance piezoelectric AlN MEMS resonators for precise sensing in liquidsArtikel Article 2020
2Schneider, Michael ; Pfusterschmied, Georg ; Patocka, Florian ; Schmid, Ulrich MEMS Sensoren in hochviskosen Flüssigkeiten - Hohe Gütefaktoren durch maßgeschneiderte, piezoelektrische ResonatorenArtikel Article 2020
3Patocka, Florian ; Schneidhofer, Christoph ; Dörr, Nicole ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich Novel MEMS Sensor for the Detection of Particles with Dielectric Properties in Aged Lubricating OilsArtikel Article 2020
4Pfusterschmied, Georg ; Patocka, Florian ; Weinmann, Christoph ; Schneider, Michael ; Platz, Daniel ; Schmid, Ulrich Responsivity and sensitivity of piezoelectric MEMS resonators athigher order modes in liquidsArtikel Article 2019
5Patocka, Florian ; Schlögl, Matthias ; Schneider, Michael ; Schneidhofer, C. ; Dörr, Nicole ; Schmid, Ulrich MEMS Sensor for Monitoring the Degradation of Lubricating OilsKonferenzbeitrag Inproceedings2019
6Patocka, Florian ; Schlögl, Matthias ; Schneidhofer, Christoph ; Dörr, Nicole ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich Piezoelectrically Excited MEMS Resonators with Integrated Planar Coil for the Detection of Ferrous Particles in LiquidsArtikel Article 2019
7Schneider, Michael ; Stöber, Laura ; Konrath, Jens P. ; Patocka, Florian ; Schmid, Ulrich Argon bombardment of 4H silicon carbide substrates for tailored Schottky diode barrier heightsArtikel Article 2019
8Patocka, Florian ; Schlögl, Matthias ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich Novel MEMS Sensor for Detecting Magnetic Particles in LiquidsKonferenzbeitrag Inproceedings2018
9Patocka, Florian ; Schneider, Michael ; Schneidhofer, C. ; Dörr, Nicole ; Schmid, Ulrich Novel MEMS Sensor for Real-time Lubricant Condition MonitoringKonferenzbeitrag Inproceedings2018
10Stöber, Laura ; Konrath, J.P. ; Patocka, Florian ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich Controlling 4H-SiC Schottky Barriers by Molybdenum and Molybdenum Nitride as Contact MaterialsArtikel Article Feb-2016
11Stöber, Laura ; Konrath, Jens Peter ; Haberl, Verena ; Patocka, Florian ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich Nitrogen incorporation in sputter deposited molybdenum nitride thin filmsArtikel Article 2016
12Patocka, Florian Kelvin Probe Force Microscopy-Messungen an Hochleistungsmaterialien der LeistungselektronikThesis Hochschulschrift2015
13Stöber, L ; Konrath, J P ; Krivec, S ; Patocka, F ; Schwarz, S ; Bittner, A ; Schneider, M ; Schmid, U Impact of sputter deposition parameters on molybdenum nitride thin film propertiesArtikel Article2015
14Backes, Andreas ; Walkoun, P. ; Patocka, Florian ; Schmid, Ulrich Generation Of A Porous Device Layer On Soi SubstratesKonferenzbeitrag Inproceedings2013
15Backes, Andreas ; Patocka, Florian ; Walkoun, P. ; Schmid, Ulrich Poröses Silizium auf SOI SubstratenKonferenzbeitrag Inproceedings2013
16Schneider, M. ; Bittner, A. ; Patocka, F. ; Stöger-Pollach, M. ; Halwax, E. ; Schmid, U. Impact of the surface-near silicon substrate properties on the microstructure of sputter-deposited AIN thin filmsArtikel Article2012

Contributing Publications Mitbeteiligte Publikationen


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1Schloegl Matthias - 2018 - Particle detection in liquids with piezoelectric MEMS...pdf.jpgSchlögl, Matthias Particle detection in liquids with piezoelectric MEMS resonatorsThesis Hochschulschrift 2018