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Sachse, Matthias
 

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1Sachse, Matthias ; Hortschitz, Wilfried ; Stifter, Michael ; Keplinger, Franz ; Jachimowicz, Artur Ein neuer Ansatz zur Herstellung von hochsensitiven kapazitiven SensorenKonferenzbeitrag Inproceedings2012
2Stifter, Michael ; Sachse, Matthias ; Sauter, Thilo ; Hortschitz, Wilfried ; Keplinger, Franz Pressure dependence of the quality factor of a cmicromachined cantilever in rarefied gasesArtikel Article2012
3Hortschitz, Wilfried ; Steiner, Harald ; Sachse, Matthias ; Stifter, Michael ; Kohl, Franz ; Schalko, Johannes ; Jachimowicz, Artur ; Keplinger, Franz ; Sauter, Thilo Robust Precision Position Detection With an Optical MEMS Hybrid DeviceArtikel Article 2012
4Sachse, Matthias Development of a capacitive transducer for a fully implantable middle ear microphoneBuch Book2011
5Hortschitz, Wilfried ; Kohl, Franz ; Sachse, Matthias ; Stifter, Michael ; Sauter, Thilo ; Steiner, Harald ; Schalko, Johannes ; Jachimowicz, Artur ; Keplinger, Franz Noise considerations on hybrid optical MEMS displacement sensorsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
6Sachse, Matthias ; Hortschitz, Wilfried ; Steiner, Harald ; Keplinger, Franz ; Jachimowicz, Artur ; Schalko, Johannes A Middle Ear Microphone Design Based on the Physiology of the Human EarKonferenzbeitrag Inproceedings2011
7Hortschitz, Wilfried ; Steiner, Harald ; Sachse, Matthias ; Stifter, Michael ; Kohl, Franz ; Schalko, Johannes ; Jachimowicz, Artur ; Keplinger, Franz ; Sauter, Thilo An Optical In-Plane MEMS Vibration SensorArtikel Article 2011
8Sachse, Matthias ; Hortschitz, Wilfried ; Steiner, Harald ; Keplinger, Franz ; Jachimowicz, Artur ; Schalko, Johannes A Middle Ear Microphone Design Based on the Physiology of the Human EarPräsentation Presentation2011
9Steiner, Harald ; Sachse, Matthias ; Schalko, Johannes ; Hortschitz, Wilfried ; Kohl, Franz ; Jachimowicz, Artur Experimental setup for the coating of chlorosilane based self assembling monolayers to reduce stiction in MEMS devicesKonferenzbeitrag Inproceedings2011
10Hortschitz, Wilfried ; Kohl, Franz ; Steiner, Harald ; Sachse, Matthias ; Stifter, Michael ; Schalko, Johannes ; Jachimowicz, Artur ; Keplinger, Franz Design of Linear and Nonlinear Hybrid Optical MEMS Displacement SensorsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
11Sachse, Matthias ; Hortschitz, Wilfried ; Kohl, Franz ; Schalko, Johannes ; Keplinger, Franz A Middle Ear Microphone Design Basid on the Physiology of the EarKonferenzbeitrag Inproceedings2010
12Hortschitz, Wilfried ; Steiner, Harald ; Sachse, Matthias ; Kohl, Franz ; Schalko, Johannes ; Keplinger, Franz Hybrid Optical MEMS Vibration SensorKonferenzbeitrag Inproceedings2010
13Hortschitz, Wilfried ; Sachse, Matthias ; Steiner, Harald ; Kohl, Franz ; Sauter, Thilo ; Schalko, Johannes ; Keplinger, Franz Optical MEMS Vibration SensorKonferenzbeitrag Inproceedings2010
14Steiner, Harald ; Sachse, Matthias ; Schalko, Johannes ; Hortschitz, Wilfried ; Jachimowicz, Artur Experimenteller Aufbau zum Beschichten von selbstorganisierenden Monoschicht zur Reduktion von Stiction bei Silicium MEMS BauteilenKonferenzbeitrag Inproceedings2010
15Sachse, Matthias ; Hortschitz, Wilfried ; Steiner, Harald ; Stifter, Michael ; Schalko, Johannes Analyse der Dämpfung in Mikrostrukturen mit keleinen DämpfergeometrienKonferenzbeitrag Inproceedings2010
16Stifter, Michael ; Hortschitz, Wilfried ; Steiner, Harald ; Sachse, Matthias ; Keplinger, Franz ; Beigelbeck, Roman Systematische Studie der Druck- und Geometrieabhängigkeit des Gütefaktors von mikromechanischen CantilevernKonferenzbeitrag Inproceedings2010