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Peiner, E.
 

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1Sökmen, Ü. ; Waag, A. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Peiner, E. AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIEKonferenzbeitrag Inproceedings2010
2Manzaneque, T. ; Hernando-García, J. ; Ababneh, A. ; Seidel, H. ; Sökmen, Ü. ; Peiner, E. ; Schmid, U. ; Sánchez-Rojas, J.L. Quality factor enhancement in AlN-actuated MEMS by velocity feedback loopKonferenzbeitrag Inproceedings2010
3Sökmen, Ü. ; Peiner, E. ; Waag, A. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich AlN on Solicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIEKonferenzbeitrag Inproceedings2009
4Sökmen, Ü. ; Stranz, A. ; Waag, A. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Peiner, E. Realization of AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass SensingKonferenzbeitrag Inproceedings2009
5Ababneh, A. ; Marchand, Günter ; Seidel, Helmut ; Hernando-Garcia, J. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Sökmen, Ü. ; Peiner, E. ; Schmid, Ulrich Comparison Between AlN Thin Films with Different Crystal Orientation for MEMS ApplicationsKonferenzbeitrag Inproceedings 2009
6Hernando-Garcia, J. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Sökmen, Ü. ; Peiner, E. ; Schmid, Ulrich Characterization and simulation of high quality AlN-actuated resonant suspended beamsKonferenzbeitrag Inproceedings 2009