<div class="csl-bib-body">
<div class="csl-entry">Drexler, A. K. (2012). <i>Leitfähigkeitsuntersuchungen an SrTiO3-Dünnschichten</i> [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. https://resolver.obvsg.at/urn:nbn:at:at-ubtuw:1-46298</div>
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Abweichender Titel laut Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
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dc.description
Zsfassung in engl. Sprache
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dc.description.abstract
SrTiO3 ist ein keramisches Modellmaterial, an dem eine große Zahl experimenteller und theoretischer Arbeiten zum Thema Defektchemie und Transporteigenschaften durchgeführt wurden. Das Wissen über die elektrischen Eigenschaften von SrTiO3 Dünnschichten mit Dicken unterhalb von 200 nm ist jedoch sehr begrenzt.<br />In dieser Arbeit wurden SrTiO3 Dünnschichten mittels PLD (Pulsed Laser Deposition) auf Saphir-Einkristallsubstraten abgeschieden. Diese Schichten wurden mit AFM (Atomic Force Microscope) und REM (Rasterelektronenmikroskop) charakterisiert.<br />Metallelektroden wurden durch Sputtern auf der Schichtoberfläche abgeschieden, um die Abhängigkeit der elektrischen Leitfähigkeit von äußeren Parametern mittels Impedanzspektroskopie zu untersuchen.<br />Die elektrische Leitfähigkeit ist eine Funktion von der Schichtdicke, dem Sauerstoffpartialdruck, der Temperatur und der Zeit. Spezielle Elektrodengeometrien wurden verwendet, um den lateralen Widerstand unbeeinflusst durch das Substrat messen zu können.<br />
de
dc.description.abstract
SrTiO3 is a model ceramic material and already a lot of experimental and theoretical work dealing with defect chemical and transport properties was published on SrTiO3. However, the knowledge of electrical properties and defects of SrTiO3 thin films is rare, particularly for film thicknesses under 200 nm. In this work the electrical conductivity of SrTiO3 films (with a thickness between 50 and 170 nm) was analyzed.<br />SrTiO3 films were deposited on sapphire single-crystal substrates by using PLD (Pulsed Laser Deposition). These films were characterized with AFM (Atomic Force Microscope) and SEM (Scanning Electron Microscope). Metal electrodes were prepared onto the films to perform electrical conductivity measurements using electrical impedance spectroscopy.<br />The electrical conductivity turned out to be a function of film thickness, oxygen partial pressure, temperature and time. Special geometries of microelectrodes were used for measurements in lateral direction. The main challenge was to measure only the thin layer without distracting substrate response.
en
dc.language
Deutsch
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dc.language.iso
de
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dc.rights.uri
http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/
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dc.subject
SrTiO3
de
dc.subject
Dünnschicht
de
dc.subject
spezifische Leitfähigkeit
de
dc.subject
Sauerstoffpartialdruck
de
dc.subject
Schichtdicke
de
dc.subject
Temperatur
de
dc.subject
Saphirsubstrat
de
dc.subject
SrTiO3
en
dc.subject
thin film
en
dc.subject
electrical conductivity
en
dc.subject
oxygen partial pressure
en
dc.subject
film thickness
en
dc.subject
temperature
en
dc.subject
Saphiresubstrate
en
dc.title
Leitfähigkeitsuntersuchungen an SrTiO3-Dünnschichten
de
dc.title.alternative
Electrical Conductivity Measurements of SrTiO3 Thin Films
en
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.rights.license
In Copyright
en
dc.rights.license
Urheberrechtsschutz
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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dc.rights.holder
Andreas Karl Drexler
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tuw.version
vor
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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dc.contributor.assistant
Huber, Stefanie
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tuw.publication.orgunit
E164 - Institut für Chemische Technologien und Analytik