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<div class="csl-entry">Laimer, J., Fink, M., & Störi, H. (2003). <i>Probleme bei der plasmaunterstützten Abscheidung aus der Gasphase von Aluminiumoxidschichten</i>. 53. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft, Salzburg, Austria. http://hdl.handle.net/20.500.12708/124402</div>
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Probleme bei der plasmaunterstützten Abscheidung aus der Gasphase von Aluminiumoxidschichten
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Physik, Mechanik, Astronomie
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12
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E134-01 - Forschungsbereich Applied and Computational Physics