DC Field
Value
Language
dc.contributor.author
Laimer, Johann
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dc.contributor.author
Fink, Markus
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dc.contributor.author
Störi, Herbert
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dc.date.accessioned
2022-11-11T08:30:07Z
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dc.date.available
2022-11-11T08:30:07Z
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dc.date.issued
2003
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dc.identifier.citation
<div class="csl-bib-body"> <div class="csl-entry">Laimer, J., Fink, M., &#38; Störi, H. (2003). <i>Probleme bei der plasmaunterstützten Abscheidung aus der Gasphase von Aluminiumoxidschichten</i>. 53. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft, Salzburg, Austria. http://hdl.handle.net/20.500.12708/124402</div> </div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/124402
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dc.title
Probleme bei der plasmaunterstützten Abscheidung aus der Gasphase von Aluminiumoxidschichten
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dc.type
Präsentation
de
dc.type
Presentation
en
dc.type.category
Conference Presentation
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tuw.peerreviewed
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tuw.publication.orgunit
E134-01 - Forschungsbereich Applied and Computational Physics
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tuw.event.name
53. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft
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tuw.event.startdate
01-10-2003
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tuw.event.enddate
02-10-2003
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tuw.event.online
On Site
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tuw.event.type
Event for scientific audience
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tuw.event.place
Salzburg
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tuw.event.country
AT
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wb.sciencebranch
Physik, Mechanik, Astronomie
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wb.sciencebranch.oefos
12
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item.grantfulltext
none
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item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_18cp
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item.openairetype
conference paper not in proceedings
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item.cerifentitytype
Publications
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item.fulltext
no Fulltext
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crisitem.author.dept
E134 - Institut für Angewandte Physik
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crisitem.author.dept
E057-09 - Fachbereich VSC Research Center
-
crisitem.author.parentorg
E130 - Fakultät für Physik
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crisitem.author.parentorg
E057 - Facilities und Zentren
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