Das Messen der Viskosität einer Flüssigkeit ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen wie die Überwachung von Prozessen und von Flüssigkeitszuständen. Miniaturisierte Sensoren wie Dickenscherschwinger und Oberflächenwellenbauteile sind durch hohe Betriebsfrequenzen und kleine Schwingungsamplituden gekennzeichnet. Der Viskositätsparameter, der von solchen Sensoren ermittelt wird, ist daher nicht immer mit den Messergebnissen konventioneller Labormessgeräte vergleichbar. In dieser Dissertation werden neue Viskositätssensoren mit Schwingungsfrequenzen im kHz-Bereich und deutlich größeren mechanischen Amplituden präsentiert. Die Sensoren basieren auf der Anregung durch Lorentzkräfte und optischen sowie piezoresistiven Auslesemechanismen und wurden durch Bearbeitungsmethoden hergestellt, die aus der Halbleitertechnologie bekannt sind.<br />
de
dc.description.abstract
The ability to measure the viscosity of liquids in situ enables a multitude of possibilities like the monitoring of processes and fluid conditions. Miniaturized viscosity sensors like thickness shear-mode resonators and surface acoustic wave devices are often characterised by high resonance frequencies and low vibration amplitudes. The viscosity parameters obtained by such devices is therefore not always comparable to those probed by conventional laboratory equipment. In this thesis, novel viscosity sensors with relatively low operating frequencies in the kHz range are presented. The sensors utilize Lorentz force excitation, and optical or piezoresistive readout. The device are fabricated from silicon and silicon nitride by micromachining, and their feasibility for the measurement of viscosity is demonstrated by experiments.<br />
en
dc.language
English
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dc.language.iso
en
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dc.rights.uri
http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/
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dc.subject
Viskosität
de
dc.subject
Mikromechanik
de
dc.subject
MEMS
de
dc.subject
Sensor
de
dc.subject
Rheologie
de
dc.subject
viscosity
en
dc.subject
micromachining
en
dc.subject
MEMS
en
dc.subject
sensor
en
dc.subject
rheology
en
dc.title
Micromachined viscosity sensors
en
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.rights.license
In Copyright
en
dc.rights.license
Urheberrechtsschutz
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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dc.rights.holder
Christian Riesch
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tuw.version
vor
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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dc.contributor.assistant
Jakoby, Bernhard
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tuw.publication.orgunit
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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dc.type.qualificationlevel
Doctoral
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dc.identifier.libraryid
AC07452326
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dc.description.numberOfPages
143
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dc.identifier.urn
urn:nbn:at:at-ubtuw:1-32015
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dc.thesistype
Dissertation
de
dc.thesistype
Dissertation
en
dc.rights.identifier
In Copyright
en
dc.rights.identifier
Urheberrechtsschutz
de
tuw.advisor.staffStatus
staff
-
tuw.assistant.staffStatus
staff
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item.languageiso639-1
en
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item.fulltext
with Fulltext
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item.openaccessfulltext
Open Access
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item.mimetype
application/pdf
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item.openairetype
doctoral thesis
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item.grantfulltext
open
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item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_db06
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item.cerifentitytype
Publications
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crisitem.author.dept
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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crisitem.author.parentorg
E350 - Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik