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<div class="csl-entry">Steiner, H., Hortschitz, W., Kainz, A. F. H., Stifter, M., Jachimowicz, A., Schalko, J., Keplinger, F., & Kohl, F. (2017). MOEMS transducer with a non-linear transfer characteristic for static displacement measurement applications on the example of an inclination sensor. <i>Sensors and Actuators A: Physical</i>, <i>263</i>, 727–732. https://doi.org/10.1016/j.sna.2017.05.035</div>
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ELSEVIER SCIENCE SA
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Sensors and Actuators A: Physical
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Electrical and Electronic Engineering
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Condensed Matter Physics
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Electronic, Optical and Magnetic Materials
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dc.subject
Instrumentation
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dc.subject
Surfaces, Coatings and Films
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dc.subject
Metals and Alloys
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dc.subject
MOEMS Static displacement Non-linear transfer characteristic Resolution Indination
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MOEMS transducer with a non-linear transfer characteristic for static displacement measurement applications on the example of an inclination sensor
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E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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crisitem.author.orcid
0000-0002-8630-777X
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