DC Element
Wert
Sprache
dc.contributor.author
Shawrav, M.M.
-
dc.contributor.author
Gökdeniz, Z.G.
-
dc.contributor.author
Wanzenboeck, H.D.
-
dc.contributor.author
Taus, P.
-
dc.contributor.author
Mika, J.K.
-
dc.contributor.author
Waid, S.
-
dc.contributor.author
Bertagnolli, E.
-
dc.date.accessioned
2023-02-07T08:26:44Z
-
dc.date.available
2023-02-07T08:26:44Z
-
dc.date.issued
2016
-
dc.identifier.citation
<div class="csl-bib-body"> <div class="csl-entry">Shawrav, M. M., Gökdeniz, Z. G., Wanzenboeck, H. D., Taus, P., Mika, J. K., Waid, S., &#38; Bertagnolli, E. (2016). Chlorine based focused electron beam induced etching: A novel way to pattern germanium. <i>Materials Science in Semiconductor Processing</i>, <i>42</i>, 170–173. https://doi.org/10.1016/j.mssp.2015.08.033</div> </div>
-
dc.identifier.issn
1369-8001
-
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/148376
-
dc.language.iso
en
-
dc.publisher
ELSEVIER SCI LTD
-
dc.relation.ispartof
Materials Science in Semiconductor Processing
-
dc.subject
Mechanical Engineering
-
dc.subject
Mechanics of Materials
-
dc.subject
Condensed Matter Physics
-
dc.subject
General Materials Science
-
dc.title
Chlorine based focused electron beam induced etching: A novel way to pattern germanium
en
dc.type
Artikel
de
dc.type
Article
en
dc.description.startpage
170
-
dc.description.endpage
173
-
dc.type.category
Original Research Article
-
tuw.container.volume
42
-
tuw.journal.peerreviewed
true
-
tuw.peerreviewed
true
-
tuw.researchTopic.id
M2
-
tuw.researchTopic.id
M1
-
tuw.researchTopic.id
Q4
-
tuw.researchTopic.name
Materials Characterization
-
tuw.researchTopic.name
Surfaces and Interfaces
-
tuw.researchTopic.name
Nanoelectronics
-
tuw.researchTopic.value
25
-
tuw.researchTopic.value
25
-
tuw.researchTopic.value
50
-
dcterms.isPartOf.title
Materials Science in Semiconductor Processing
-
tuw.publication.orgunit
E362 - Institut für Festkörperelektronik
-
tuw.publisher.doi
10.1016/j.mssp.2015.08.033
-
dc.identifier.eissn
1873-4081
-
dc.description.numberOfPages
4
-
wb.sci
true
-
wb.sciencebranch
Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik
-
wb.sciencebranch.oefos
2020
-
wb.facultyfocus
Mikro- und Nanoelektronik
de
wb.facultyfocus
Micro- and Nanoelectronics
en
wb.facultyfocus.faculty
E350
-
item.languageiso639-1
en
-
item.openairetype
research article
-
item.grantfulltext
none
-
item.fulltext
no Fulltext
-
item.cerifentitytype
Publications
-
item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1
-
crisitem.author.dept
E362-02 - Forschungsbereich Nanoelektronische Bauelemente
-
crisitem.author.dept
E164-03-2 - Forschungsgruppe Mechanische Eigenschaften und Zuverlässigkeit
-
crisitem.author.dept
E362-02 - Forschungsbereich Nanoelektronische Bauelemente
-
crisitem.author.dept
E362-02 - Forschungsbereich Nanoelektronische Bauelemente
-
crisitem.author.dept
E362 - Institut für Festkörperelektronik
-
crisitem.author.dept
E362 - Institut für Festkörperelektronik
-
crisitem.author.dept
E362 - Institut für Festkörperelektronik
-
crisitem.author.orcid
0000-0001-8639-0393
-
crisitem.author.orcid
0000-0001-8995-8909
-
crisitem.author.parentorg
E362 - Institut für Festkörperelektronik
-
crisitem.author.parentorg
E164-03 - Forschungsbereich Chemische Technologien
-
crisitem.author.parentorg
E362 - Institut für Festkörperelektronik
-
crisitem.author.parentorg
E362 - Institut für Festkörperelektronik
-
crisitem.author.parentorg
E350 - Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
-
crisitem.author.parentorg
E350 - Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
-
crisitem.author.parentorg
E350 - Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
-
Enthalten in den Sammlungen:
Article
Zur Kurzanzeige

Seiten Aufrufe

87
aufgerufen am 01.12.2023

Google ScholarTM

Check