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<div class="csl-entry">Simsek, S. (2014). <i>Untersuchung von ALD high-k Oxiden in MIM-Kondensatoren und Optimierung der Spannungs-Nichtlinearität für Zirkonoxid</i> [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/159140</div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/159140
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dc.description
Zsfassung in engl. Sprache
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dc.language
Deutsch
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dc.language.iso
de
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dc.title
Untersuchung von ALD high-k Oxiden in MIM-Kondensatoren und Optimierung der Spannungs-Nichtlinearität für Zirkonoxid