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<div class="csl-entry">Demel, M. (2020). <i>Investigation on a MEMS electric field sensor based on alternating charges</i> [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. https://doi.org/10.34726/hss.2020.68861</div>
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dc.identifier.uri
https://doi.org/10.34726/hss.2020.68861
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/16562
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dc.description
Abweichender Titel nach Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
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dc.description.abstract
This thesis is centered around measuring and quantifying static electric fields.There is an abundance of approaches for such a sensor but none of them is satisfying with respect to practicability, reliability and reproducibility. Through the usage of microsystem technology it is possible to build sensors with spatial resolutions in the region of milli- to micrometers. Therefore, meeting scientific and industrial demands which have been out of reach until now. Furthermore, these sensors are capable of measuring low-frequency and static electric fields with minimal external interference. In order to provide such a sensor, a method was developed to design such devices with a variety of geometries. Those devices have been manufactured in silicon and prepared fore further characterization. An appropriate setup has been built and used to measure the properties of several different types of sensor structures. The data of these measurements has been evaluated and the characteristics of the sensors were compared during this thesis. This lead and will lead to more insight into the behavior of this kind of sensor.
en
dc.description.abstract
Diese Arbeit befasst sich im weitesten Sinne mit der Erfassung der Eigenschaften elektrischer Felder. Obwohl es bereits einige vielversprechende Ansätze gibt, erfüllt dennoch keiner alle Kriterien vieler Einsatzgebiete. Durch die Entwicklung eines Sensors auf MEMS-Basis soll es möglich werden, elektrische Feldsensoren mit örtlichen Auflösungen im Millimeter- oder sogar Mikrometerbereich herzustellen und damit wissenschaftliche aber auch industrielle Anforderungen an diese Messungen zu erfüllen. Weiters sollen die, in dieser Arbeit behandelten, Sensoren auch die Möglichkeit bieten niederfrequente elektrische Felder ohne zwischenzeitliche Eingriffe, wie zum Beispiel Kalibrierungen, zu messen. Zu diesem Zweck wurde eine Methode entwickelt, mehrere verschiedene Strukturen mit unterschiedlichsten geometrischen Parametern herzustellen. Mit Hilfe eines Silizium-Wafers und den geeigneten Ätzverfahren wurden die erstellten Strukturen verarbeitet und zur Anwendung vorbereitet. Ein geeigneter Aufbau zur Vermessung eines erzeugten elektrischen Feldes wurde erstellt und die Strukturen in weiterer Folge einzeln vermessen und charakterisiert. Diese Messdaten konnten in dieser Arbeit zum Teil ausgewertet werden und die Eigenschaften unterschiedlicher geometrischer Formen miteinander verglichen werden. Dies führte zu einigen Erkenntnissen, welche sich für die weitere Entwicklung als hoffentlich wertvoll und wegweisend herausstellen werden.
de
dc.language
English
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dc.language.iso
en
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dc.rights.uri
http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/
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dc.subject
E-Feld-Sensor
de
dc.subject
Balkenstrukturen
de
dc.subject
electric field sensor
en
dc.subject
cantilever structures
en
dc.title
Investigation on a MEMS electric field sensor based on alternating charges
en
dc.title.alternative
MEMS-E-Feld Sensor
de
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.rights.license
In Copyright
en
dc.rights.license
Urheberrechtsschutz
de
dc.identifier.doi
10.34726/hss.2020.68861
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dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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dc.rights.holder
Markus Demel
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dc.publisher.place
Wien
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tuw.version
vor
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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tuw.publication.orgunit
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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dc.type.qualificationlevel
Diploma
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dc.identifier.libraryid
AC16113394
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dc.description.numberOfPages
50
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dc.thesistype
Diplomarbeit
de
dc.thesistype
Diploma Thesis
en
dc.rights.identifier
In Copyright
en
dc.rights.identifier
Urheberrechtsschutz
de
tuw.advisor.staffStatus
staff
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item.cerifentitytype
Publications
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item.openaccessfulltext
Open Access
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item.fulltext
with Fulltext
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item.languageiso639-1
en
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item.grantfulltext
open
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item.openairetype
master thesis
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item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_bdcc
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item.mimetype
application/pdf
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crisitem.author.dept
E366-01 - Forschungsbereich Mikro- und Nanosensorik