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Sprache
dc.contributor.author
Abermann, Stephan
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dc.contributor.author
Henkel, Christoph
-
dc.contributor.author
Bethge, Ole
-
dc.contributor.author
Straif, Christoph Josef
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dc.contributor.author
Hutter, Herbert
-
dc.contributor.author
Bertagnolli, Emmerich
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dc.date.accessioned
2023-03-07T12:27:44Z
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dc.date.available
2023-03-07T12:27:44Z
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dc.date.issued
2009
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<div class="csl-bib-body"> <div class="csl-entry">Abermann, S., Henkel, C., Bethge, O., Straif, C. J., Hutter, H., &#38; Bertagnolli, E. (2009). Lanthanum-Zirconate and Lanthanum-Aluminate Based High- κ Dielectric Stacks on Silicon Substrates. <i>Journal of The Electrochemical Society</i>, <i>156</i>(5), G53. https://doi.org/10.1149/1.3095475</div> </div>
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0013-4651
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en
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dc.publisher
ELECTROCHEMICAL SOC INC
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dc.relation.ispartof
Journal of The Electrochemical Society
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dc.subject
Condensed Matter Physics
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dc.subject
Electronic, Optical and Magnetic Materials
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dc.subject
Renewable Energy, Sustainability and the Environment
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dc.subject
Surfaces, Coatings and Films
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dc.subject
Materials Chemistry
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dc.subject
Electrochemistry
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dc.title
Lanthanum-Zirconate and Lanthanum-Aluminate Based High- κ Dielectric Stacks on Silicon Substrates
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Artikel
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G53
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Original Research Article
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