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<div class="csl-entry">Böhm, D. (2023). <i>Design der Strukturentwicklung in gesputterten Mehrkomponenten-Schichten mit Hilfe einer interaktiven Raytracing-Software</i> [Dissertation, Technische Universität Wien]. reposiTUm. https://doi.org/10.34726/hss.2023.54860</div>
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https://doi.org/10.34726/hss.2023.54860
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/176944
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dc.description
Zusammenfassung in englischer Sprache
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dc.language
Deutsch
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dc.language.iso
de
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dc.rights.uri
http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/
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dc.subject
Kathodenzerstäubung
de
dc.subject
Mehrkomponentensysteme
de
dc.subject
Strukturbildung
de
dc.subject
Sputtering
en
dc.subject
Multi Component Materials
en
dc.subject
Structural Evolution
en
dc.title
Design der Strukturentwicklung in gesputterten Mehrkomponenten-Schichten mit Hilfe einer interaktiven Raytracing-Software
de
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.rights.license
In Copyright
en
dc.rights.license
Urheberrechtsschutz
de
dc.identifier.doi
10.34726/hss.2023.54860
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dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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dc.rights.holder
David Böhm
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dc.publisher.place
Wien
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tuw.version
vor
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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tuw.publication.orgunit
E138 - Institut für Festkörperphysik
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dc.type.qualificationlevel
Doctoral
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dc.identifier.libraryid
AC16845684
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dc.description.numberOfPages
167
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dc.thesistype
Dissertation
de
dc.thesistype
Dissertation
en
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In Copyright
en
dc.rights.identifier
Urheberrechtsschutz
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staff
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tuw.advisor.orcid
0000-0002-7096-6092
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Open Access
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Publications
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http://purl.org/coar/resource_type/c_18cf
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with Fulltext
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item.grantfulltext
embargo_20260430
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de
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Thesis
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Hochschulschrift
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crisitem.author.dept
E138-03 - Forschungsbereich Functional and Magnetic Materials
