DC Field
Value
Language
dc.contributor.advisor
Valtiner, Markus
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dc.contributor.author
Fugger, Andrea
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dc.date.accessioned
2023-05-25T10:46:38Z
-
dc.date.issued
2023
-
dc.date.submitted
2023-05
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dc.identifier.citation
<div class="csl-bib-body"> <div class="csl-entry">Fugger, A. (2023). <i>Fabrication and evaluation of semiconductor structures for precise dose control of Implantation equipment in semiconductor manufacturing</i> [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. https://doi.org/10.34726/hss.2023.107080</div> </div>
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dc.identifier.uri
https://doi.org/10.34726/hss.2023.107080
-
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/177265
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dc.description
Arbeit an der Bibliothek noch nicht eingelangt - Daten nicht geprueft - gesperrte Arbeit (bis 2024-05-15+02:00)
-
dc.description
Abweichender Titel nach Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
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dc.language
English
-
dc.language.iso
en
-
dc.rights.uri
http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/
-
dc.subject
Ion implantation
en
dc.subject
semiconductor processing
en
dc.subject
Silicon
en
dc.title
Fabrication and evaluation of semiconductor structures for precise dose control of Implantation equipment in semiconductor manufacturing
en
dc.title.alternative
Herstellung und Evaluierung von Halbleiterstrukturen für die präzise Dosiskontrolle von Implantationsanlagen in der Halbleiterfertigung
de
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.rights.license
In Copyright 1.0
en
dc.rights.license
Urheberrechtsschutz 1.0
de
dc.identifier.doi
10.34726/hss.2023.107080
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dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
-
dc.rights.holder
Andrea Fugger
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dc.publisher.place
Wien
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
-
tuw.publication.orgunit
E134 - Institut für Angewandte Physik
-
dc.type.qualificationlevel
Diploma
-
dc.identifier.libraryid
AC16855957
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dc.description.numberOfPages
77
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dc.thesistype
Diplomarbeit
de
dc.thesistype
Diploma Thesis
en
dc.rights.identifier
In Copyright 1.0
en
dc.rights.identifier
Urheberrechtsschutz 1.0
de
tuw.advisor.staffStatus
staff
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http://purl.org/coar/resource_type/c_18cf
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Open Access
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Thesis
-
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Hochschulschrift
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Publications
-
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Publications
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Appears in Collections:
Thesis
Fugger Andrea - 2023 - Fabrication and evaluation of semiconductor structures...pdf
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