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<div class="csl-entry">Wissenwasser, J. (2005). <i>Der Einfluss wasserstoffbehafteter Silizium-Prozessschritte auf die elektrischen Eigenschaften und die Zuverlässigkeit von Leistungshalbleiterbauelementen</i> [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/179908</div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/179908
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dc.language
Deutsch
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dc.language.iso
de
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dc.title
Der Einfluss wasserstoffbehafteter Silizium-Prozessschritte auf die elektrischen Eigenschaften und die Zuverlässigkeit von Leistungshalbleiterbauelementen
de
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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tuw.publication.orgunit
E362 - Institut für Festkörperelektronik
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dc.type.qualificationlevel
Diploma
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dc.identifier.libraryid
AC04929379
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dc.description.numberOfPages
105
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dc.thesistype
Diplomarbeit
de
dc.thesistype
Diploma Thesis
en
tuw.advisor.staffStatus
staff
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item.languageiso639-1
de
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item.openairetype
master thesis
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item.grantfulltext
none
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item.fulltext
no Fulltext
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item.cerifentitytype
Publications
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item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_bdcc
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crisitem.author.dept
E354 - Electrodynamics, Microwave and Circuit Engineering
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crisitem.author.parentorg
E350 - Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik