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<div class="csl-entry">Golka, S. (2001). <i>Rasterkapazitätsmikroskopie an Dotierprofilen in Halbleitern</i> [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/180119</div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/180119
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dc.language
Deutsch
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de
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dc.title
Rasterkapazitätsmikroskopie an Dotierprofilen in Halbleitern
de
dc.type
Thesis
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dc.type
Hochschulschrift
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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dc.type.qualificationlevel
Diploma
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dc.identifier.libraryid
AC03229248
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dc.description.numberOfPages
65
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dc.thesistype
Diplomarbeit
de
dc.thesistype
Diploma Thesis
en
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de
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item.openairetype
master thesis
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item.grantfulltext
none
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no Fulltext
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item.cerifentitytype
Publications
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item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_bdcc
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crisitem.author.dept
E392 - Zentrum für Mikro- und Nanostrukturen
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crisitem.author.parentorg
E350 - Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
