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<div class="csl-entry">Rinnerbauer, V. (2001). <i>Konstruktion einer Anlage zu Plasma-unterstützten Deposition von Siliziumnitrid auf Silizium</i> [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/180858</div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/180858
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dc.language
Deutsch
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dc.language.iso
de
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dc.title
Konstruktion einer Anlage zu Plasma-unterstützten Deposition von Siliziumnitrid auf Silizium
de
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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tuw.publication.orgunit
E141 - Atominstitut der Österreichischen Universitäten
