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<div class="csl-entry">Weißenbacher, R. (2002). <i>Deposition of B, C, N containing layers by the decomposition of single source precursor</i> [Dissertation, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/181242</div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/181242
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dc.description
Zsfassung in dt. Sprache
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dc.language
English
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dc.language.iso
en
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dc.subject
Dünne Schicht
de
dc.subject
Bor
de
dc.subject
Kohlenstoff
de
dc.subject
Stickstoff
de
dc.subject
Abscheidung
de
dc.subject
Ausgangsmaterial
de
dc.subject
Zersetzung
de
dc.title
Deposition of B, C, N containing layers by the decomposition of single source precursor
en
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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tuw.publication.orgunit
E164 - Institut für Chemische Technologien und Analytik
