DC Field
Value
Language
dc.contributor.author
Liedl, Gerhard
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dc.date.accessioned
2023-06-18T22:35:00Z
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dc.date.issued
2000
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dc.identifier.citation
<div class="csl-bib-body"> <div class="csl-entry">Liedl, G. (2000). <i>Mikromaterialbearbeitung mit einem Excimerlaser : Industrielle Anwendungen eines Excimerlasers</i> [Dissertation, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/182359</div> </div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/182359
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dc.language
Deutsch
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dc.language.iso
de
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dc.subject
Materialbearbeitung
de
dc.subject
Mikrobearbeitung
de
dc.subject
Excimerlaser
de
dc.title
Mikromaterialbearbeitung mit einem Excimerlaser : Industrielle Anwendungen eines Excimerlasers
de
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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dc.type.qualificationlevel
Doctoral
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dc.identifier.libraryid
AC03084182
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dc.description.numberOfPages
151
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dc.thesistype
Dissertation
de
dc.thesistype
Dissertation
en
item.languageiso639-1
de
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item.openairetype
doctoral thesis
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item.grantfulltext
none
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item.fulltext
no Fulltext
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item.cerifentitytype
Publications
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item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_db06
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crisitem.author.dept
E311-02-2 - Forschungsgruppe Prozesstechnik
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crisitem.author.parentorg
E311-02 - Forschungsbereich Photonische Technologien
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Thesis
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