<div class="csl-bib-body">
<div class="csl-entry">Casatta, A. (2023). <i>Entwurf und Bau einer Lichtbogenverdampfungsanlage</i> [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. https://doi.org/10.34726/hss.2023.92668</div>
</div>
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dc.identifier.uri
https://doi.org/10.34726/hss.2023.92668
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/186969
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dc.description
Zusammenfassung in englischer Sprache
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dc.description
Abweichender Titel nach Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
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dc.language
Deutsch
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dc.language.iso
de
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dc.rights.uri
http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/
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dc.subject
PVD Anlage
de
dc.subject
Arc Evaporation
de
dc.subject
PVD systems
en
dc.subject
Lichtbogenverdampfung
en
dc.title
Entwurf und Bau einer Lichtbogenverdampfungsanlage
de
dc.title.alternative
Design and construction of an arc evaporation system
en
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.rights.license
In Copyright
en
dc.rights.license
Urheberrechtsschutz
de
dc.identifier.doi
10.34726/hss.2023.92668
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dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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dc.rights.holder
Alex Casatta
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dc.publisher.place
Wien
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tuw.version
vor
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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dc.contributor.assistant
Mayrhofer, Paul Heinz
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tuw.publication.orgunit
E308 - Institut für Werkstoffwissenschaft und Werkstofftechnologie
