Real-time imaging-ellipsometry on cylindrical substrates with a polarization camera

Abstract

Based on a polarization camera we present an imaging-ellipsometer for inline quality control of thin layers within a thickness range of 0-500 nm. We describe the application to cylindrical substrates like bottles, tubes or foils on guide rolls in roll-to-roll-production. We demonstrate the new system for SiO2-coated PET-bottles, PDMS-coated glass-tubes, and SiO2-coated PET-foils. With frame rates of up to 24 fps the ellipsometer is aimed for both fast offline as well as real-time inline thickness-control.

Wir demonstrieren ein abbildendes Echtzeit-Ellipsometer, basierend auf einer Polarisationskamera. Das System kann für die Qualitätskontrolle von Beschichtungen im Dickenbereich 0-500 nm benutzt werden. Wir beschreiben die Anwendung an zylindrischen Proben, wie Flaschen, Rohre oder Folien auf Umlenkrollen in der Rolle-zu-Rolle-Produktion. Wir zeigen Messergebnisse des neuen Systems an SiO2-beschichteten PET-Flaschen, PDMS-beschichteten Karpulen und SiO2-bschichteten PET-Folien. Mit bis zu 24 Aufnahmen pro s werden sowohl schnelle Anwendungen im Labor als auch in Echtzeit in der Produktionslinie adressiert.