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<div class="csl-entry">Toth, F., Hassanpour Guilvaiee, H., & Jank, G. (2021). Acoustics on small scales : Modelling viscous effects in MEMS devices. <i>Elektrotechnik Und Informationstechnik : E & i</i>, <i>138</i>(3), 155–161. https://doi.org/10.1007/s00502-021-00875-4</div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/20277
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dc.description.abstract
We present a modelling strategy based on the finite element method to describe flexible, piezoelectric structures surrounded by a compressible fluid, including viscosity. Non-conforming interfaces based on the Mortar method are used to couple the different physical domains. Finally, we present an application example of a piezoelectrically actuated MEMS structure to illustrate the modeling procedure and the impact of viscous effects.
en
dc.description.abstract
Wir präsentieren eine Finite Elemente-Modellierungsstrategie für flexible und piezoelektrisch erregte Strukturen, welche von einem viskosen, kompressiblen Fluid umgeben sind. Die unterschiedlichen Bereiche werden anhand der Nitsche-Methode für nicht-konforme Gitter miteinander gekoppelt. Ein abschließendes Anwendungsbeispiel einer piezoelektrischen MEMS-Struktur dient zur Illustration der Modellierungsstrategie und zeigt den Einfluss der Viskosität auf das Systemverhalten.
de
dc.language.iso
en
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dc.relation.ispartof
Elektrotechnik und Informationstechnik : e & i
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dc.rights.uri
http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
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dc.subject
acoustics
en
dc.subject
finite element method
en
dc.subject
MEMS
en
dc.subject
non-conforming grid
en
dc.subject
viscosity
en
dc.subject
Finite Elemente Methode
de
dc.subject
Viskosität
de
dc.subject
nicht-konforme Gitter
de
dc.title
Acoustics on small scales : Modelling viscous effects in MEMS devices
en
dc.title.alternative
Akustik auf kleinen Längenskalen : Modellierung viskoser Effekte in Mikrosystemen