DC Field
Value
Language
dc.contributor.author
Huber, Dominik
-
dc.contributor.author
Platz, Daniel
-
dc.contributor.author
Loch Gesing, Andre
-
dc.contributor.author
Fulmek, Paul
-
dc.contributor.author
Steinmüller-Nethl, Doris
-
dc.contributor.author
Pfusterschmied, Georg
-
dc.contributor.author
Schmid, Ulrich
-
dc.date.accessioned
2025-01-17T09:46:05Z
-
dc.date.available
2025-01-17T09:46:05Z
-
dc.date.issued
2024-06
-
dc.identifier.citation
<div class="csl-bib-body"> <div class="csl-entry">Huber, D., Platz, D., Loch Gesing, A., Fulmek, P., Steinmüller-Nethl, D., Pfusterschmied, G., &#38; Schmid, U. (2024, June). <i>Grain Size Dependent Q-Factor in Polycrystalline Diamond MEMS Resonators</i> [Poster Presentation]. MESS24 - Microelectronic Systems Symposium, Wien, Austria. http://hdl.handle.net/20.500.12708/208948</div> </div>
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http://hdl.handle.net/20.500.12708/208948
-
dc.language.iso
en
-
dc.subject
Q-Factor
en
dc.subject
Polycrystalline
en
dc.subject
Diamond
en
dc.subject
Resonators
en
dc.subject
MEMS
en
dc.title
Grain Size Dependent Q-Factor in Polycrystalline Diamond MEMS Resonators
en
dc.type
Presentation
en
dc.type
Vortrag
de
dc.type.category
Poster Presentation
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Materials Characterization
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Modeling and Simulation
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50
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50
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0000-0002-5923-0279
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en
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06-06-2024
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tuw.event.enddate
07-06-2024
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tuw.event.online
On Site
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Event for scientific audience
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Wien
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AT
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Huber, Dominik
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Single Track
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Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik
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no Fulltext
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Publications
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crisitem.author.dept
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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crisitem.author.dept
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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crisitem.author.dept
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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crisitem.author.dept
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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crisitem.author.dept
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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crisitem.author.dept
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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crisitem.author.orcid
0000-0002-0970-3875
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E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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