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<div class="csl-entry">Bammer, F., & Huemer, F. F. (2024, September 19). <i>Flächige Schichtdickenerfassung in Echtzeit mit bildgebender Ellipsometrie</i> [Conference Presentation]. Netzwerk ZfP 2024, Linz, Austria. http://hdl.handle.net/20.500.12708/209025</div>
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http://hdl.handle.net/20.500.12708/209025
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dc.description.abstract
Eine flächige Qualitätskontrolle dünner Beschichtungen direkt in der Produktionslinie kann mit bildgebender Ellipsometrie realisiert werden. Dabei wird das beschichtete Objekt schief mit polarisiertem Licht beleuchtet und mit einer an das schiefe Objekt angepassten Optik auf eine Polarisationskamera abgebildet. Diese erfasst den durch die Reflexion veränderten Polarisationszustand und damit auch ein Maß für die Schichtdicke.
Im Sichtbaren sind kommerzielle Polarisationskameras erhältlich. Dabei wird mit einem segmentierten Nanodrahtgitter vor dem Sensor der Intensitätsanteil der 0°-, 45°-, 90°- und 135°-linearen Polarisation gemessen. Mit einer zusätzlichen Viertelwellenplatte gelingt auch die Erfassung von links- und rechts-zirkular polarisiertem Licht und damit eine komplette Erfassung der Polarisationverteilung. Mit einem einfachen mathematischen Modell wird daraus in Echtzeit eine Schichtdickenverteilung berechnet. Je nach zentraler Wellenlänge der Lichtquelle sind Dickenmessungen im Bereich 0-500nm möglich, mit bis zu 24 flächigen Messungen pro Sekunde.
Dies wurde erprobt für silikonisierte Karpulen, PET-Flaschen mit Barriereschicht und R2R-Beschichtungen.
Für dickere Beschichtungen im Bereich 0-5µm, wie Präzisionsbeölungen oder –lackierungen ist eine Lösung mit infrarotem Licht notwendig. Dabei wird eine IR-Kamera mit einer polarisierenden Strahlaufspaltung als IR-Polarisationskamera eingesetzt.
Dieses einfache Messprinzip kann an Objektgrößen von bis zu 2.3m angepasst werden und kann für sehr dünne bzw. dickere Schichten auch im UV- bzw. im THz-Bereich realisiert werden.
de
dc.description.sponsorship
European Commission
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dc.language.iso
de
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dc.subject
Ellipsometrie
de
dc.subject
Echtzeitsystem
de
dc.subject
Qualitätssicherung
de
dc.title
Flächige Schichtdickenerfassung in Echtzeit mit bildgebender Ellipsometrie
de
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Presentation
en
dc.type
Vortrag
de
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315665
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dc.type.category
Conference Presentation
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tuw.project.title
Dünnfilmmesstechnik auf organischer Photovoltaik
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Q1
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Photonics
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Sustainable Production and Technologies
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Efficient Utilisation of Material Resources
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E311-02-2 - Forschungsgruppe Prozesstechnik
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tuw.publication.orgunit
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tuw.author.orcid
0000-0002-2776-7768
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Netzwerk ZfP 2024
de
tuw.event.startdate
18-09-2024
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tuw.event.enddate
19-09-2024
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tuw.event.online
On Site
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tuw.event.type
Event for non-scientific audience
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tuw.event.place
Linz
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tuw.event.country
AT
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tuw.event.presenter
Bammer, Ferdinand
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tuw.event.track
Single Track
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Maschinenbau
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Werkstofftechnik
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Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik
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conference paper not in proceedings
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restricted
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no Fulltext
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Publications
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crisitem.author.dept
E311-02-2 - Forschungsgruppe Prozesstechnik
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E191-02 - Forschungsbereich Embedded Computing Systems
